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正修科技大學半導體製程無塵室若於預約時間中無法進行實驗，最晚請於預約時間 ( 日期 ) 前二日取消預約，否則自該日起暫停預約兩星期。 3 預約使用者，若遲到 30 分鐘，取消該時段使用權，開放他人使用。 10 最後離開實驗室者 特別在周末或放長假之前 ，須負責檢查所有機台、閥門、廠務設備之水電氣、電器及開關，不使用者應予關閉，並確實關鎖門窗後始可離開。
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34 未經同意，勿擅自取用本實驗室員工之物品 如鑷子、磁卡、 wafer 及 MASK 等。
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製程 & 量測設備 濕式工作台. 電子科館3F0301半導體製程無塵室( 07-7310606 ext.327).
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本實驗室為 Class 10K 之無塵室，擁有半導體製程之相關設備，計有黃光室一間(內有精密烤箱、光罩對準儀、旋轉塗佈機、熱板、超音波洗淨機及化學清洗櫃)、電漿增強式化學沉積儀(Plasma - Enhnced Chemical VaporDepsition PECVD)、熱蒸鍍機(Thermal Evaporation)、電子槍蒸鍍機(E Beam Evaporation)、濺鍍機(Sputter)、快速退火爐(RapidThermalAnnealing RTA)、反應式離子蝕刻機(RIE)、金相光學顯微鏡、全波長橢圓量測儀及傅式遠(中)紅外線光譜儀(FTIR)等儀器設備。
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OSU Microelectronics Lab
The Ohio State University. Department of Electrical and Computer Engineering.
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Phone 48 (54) 413 83 00. E-mail: office@cleanroom.com.pl. Panels for the construction of Cleanroom. Preparation of the project. Of clean area with visualizations and patterns of air flow. Build of CleanRoom or dedicated areas of CleanBox for small as well as big facilities. On request (airlocks, panels, filters, ventilation, work stands of higher purity, etc). Preparation of service procedures. Maintaining, downtime and conservation) and care over area and its modification. Al Kazimierza Wielkiego 6E,.
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